6 ноября 2015 года компания Visitech (Норвегия) – анонсировала новый тип фотоголовок серии LLS – LUXBEAM Lithography System in real time (далее LLS-RLT).
Новые фотоголовки имеют быстродействующую систему управления DMD-матрицей и светодиодами (LED), которые стали более мощными и широкодиапазонными. Таким образом, были улучшены основные параметры систем прямого экспонирования (DI).

Три модели фотоголовок — LLS 10, LLS 25 и LLS 50 – позволяют получать минимальные элементы (проводник/зазор) размером 12, 25 и 50 мкм соответственно.

У новых фотоголовок блок осветителя состоит из 4 (четырёх) источников света типа High Power UV LED – за счет этого существенно увеличилась мощность экспонирования.
На данный момент предусмотрена комбинация источников с общим диапазоном засветки 350÷440 нм (пики LED-ов:365, 385, 395, 405 нм).

Модель «LLS 10» — минимальный размер элемента = 12 мкм; ширина области экспонирования ~ 10 мм; скорость перемещения до 495 мм/c.

Модель «LLS 25» — минимальный размер элемента = 25 мкм; ширина области экспонирования ~ 20,5 мм; скорость перемещения до 820 мм/c.

Модель «LLS 50» — минимальный размер элемента = 50 мкм; ширина области экспонирования ~ 41 мм; скорость перемещения до 820 мм/c.

Высокая производительность

Оптический сетевой интерфейс с увеличенной пропускной способностью и новая версия системы управления матрицей LUXBEAM 4700 DLP позволили передавать и обрабатывать поток данных в реальном режиме времени со скоростью до 10 Gbit/s, что повысило максимальную скорость перемещения фотоголовки до 820 мм/сек.

Система бесконтактной автофокусировки

Фотоголовка оснащена шаговым микродвигателем для перемещения по оси Z (вверх-вниз) и датчиком положения фотоголовки относительно рабочей поверхности.
Система в реальном режиме времени позволяет отслеживать и компенсировать неровности поверхности заготовки (коробление) в пределах 500 мкм на длине 100 мм при номинальной скорости перемещения фотоголовки вдоль направления экспонирования (ось Y) равной 400 мм/сек.

Низкая стоимость обслуживания

Используемые технологии (DLP и LED) обеспечивают долгий срок службы и низкие затраты при эксплуатации и обслуживании.

Съёмная конструкция блока осветителей LED — “SWAP & GO”

Все четыре источника света (LED) с платами управления смонтированы на съемном модуле «SMART-LED» – это позволяет
выполнять простую их замену без перенастройки оптики.

Оптическое мультиплексирование

LLS-RTL как и предыдущие модели фотоголовок LLS используют запатентованную технологию мульти-плексирования проецируемого изображения – SPX.

Теперь вместо 16 зон, DMD -матрица сможет делиться на 24 и даже 36 зон – это уменьшит пикселизацию проецируемого рисунка и позволит при номинальном размере пикселя 10,8 мкм (для LLS25) получать рисунок с разрешением 14 100 dpi.

Система контроля равномерности освещения по всей площади матрицы

Для обеспечения равномерности засветки по всему полю матрицы каждая фотоголовка калибруется с записью индивидуального профиля в чипе системы управления — Pixel Power Control (PPC).

Усовершенствованная оптическая система

Компания Visitech гарантирует формирование изображения на поверхности заготовки в пределах нескольких микрометров. Каждая фотоголовка калибруется с номинальными (паспортными) параметрами, что обеспечивает полную идентичность и взаимозаменяемость фотоголовок.