Laminar E8000 сухой пленочный фоторезист – это негативный, водопроявляемый сухой пленочный фоторезист, разработанный для изготовления внутренних слоев, тентинг-метода и позитивного метода (использования в гальванических ваннах) в производстве печатных плат.
Физические характеристики
| Продукт
Характеристики
|
LAMINAR
E8013 |
LAMINAR
E8015 |
LAMINAR
E8020 |
| Толщина (микрометры) | 33 ±2 | 38±2 | 49±2 |
| Цвет до экпонирования | Зеленый | Зеленый | Зеленый |
| Цвет после экспонирования | Глубокий синий | Глубокий синий | Глубокий синий |
| Рекомендованная область использования | Изготовление внутренних слоев | Изготовление внутренних слоев
Тентинг-метод Гальваника |
Изготовление внутренних слоев
Тентинг-метод Гальваника |
Фотографии, сделанные при помощи электронного микроскопа, показывают с увеличением х500 структуры 40 мкм, полученные на материале LAMINAR E8015.
Характеристики продукта
- Высокая разрешающая способность
- Хороший цветовой контраст после экспонирования, облегчающий проверку
- Хорошие свойства при тентировании
- Хорошие характеристики при гальваническом осаждении
- Великолепная устойчивость в ваннах никель/золото
- Высокая химическая устойчивость к щелочным и кислотным составам травления
- Широкое технологическое «окно» на каждом технологическом этапе.
Обработка
Подготовка поверхности
Оптимальные характеристики LAMINAR Е8000 зависят от состояния и чистоты поверхности меди непосредственно перед ламинированием.
LAMINAR Е8000 можно использовать на следующих поверхностях:
- Медь после механической подготовки поверхности
- Медь после химической подготовки поверхности
- Пемзовая щеточная зачистка/оксид алюминия (Al2O3)
- Химически осажденная медь
- Гальванически осажденная медь
- Прямая металлизация
Для достижения максимальной адгезии поверхность должна быть чистой, сухой, свободной от таких загрязнений, как хроматы (внутренние слои), остатков воды и кислот и другие виды загрязнений. Другие виды загрязнений включают в себя смазку из воздуховодов, остатки нейлоновых щеток, отпечатки пальцев и прочих загрязнений воздуха, возникающих на участке мокрых химических процессов.
Подготовленные заготовки должны непосредственно поступать на участок ламинирования, чтобы избежать риска загрязнений.
Ламинирование
Резисты серии LAMINARE8000 можно наносить при помощи любых ламинаторов, представленных на рынке. Предпочтительнее автоматический ламинатор с обрезкой, поскольку он исключает отходы от обрезки и обеспечивает экспонированный край со всех четырех сторон заготовки.
Ламинирование LAMINARE8000 должно осуществляться в условиях, гарантирующих отсутствие пыли и грязи. Настоятельно рекомендуется использовать встроенный в линию очиститель заготовок, это поможет обеспечить чистоту поверхности в процессе нанесения LAMINARE8000. Для достижения высокого выхода годных очень важно поддерживать ламинатор в хорошем состоянии и обеспечить его надлежащее техническое обслуживание.
Непосредственно после ламинирования сухой пленочный резист мягок, его легко повредить. Поэтому заготовки следует устанавливать на специальные подставки, чтобы избежать дефектов, вызванных давлением. Это также способствует охлаждению заготовок до комнатной температуры перед экспонированием. Заготовки не следует складывать одну на другую, потому что частицы, возможно, имеющиеся на одной заготовке, могут повредить соседние заготовки. Это также осложнит отвод тепла и может отрицательно сказаться на свойствах резиста в процессе экспонирования и/или проявления.
LAMINAR E8000 обладает хорошими характеристиками по эластичности и заполнению. Несмотря на это, необходимо настроить параметры ламинирования, исходя из типа изделия и сложности заготовки. Таблица дает общие предписания на процесс.
Предписания по ламинированию
| Ручной ламинатор | |
| Температура валков | 100 – 130оС |
| Скорость ламинирования | 1,0 – 3,0 м/мин |
| Давление ламинирования | 2,5 – 3,0 бар |
| Автоматический ламинатор с обрезкой | |
| Температура валков | 100-130оС |
| Скорость ламинирования | 1,0 – 3,0 м/мин |
| Давление ламинирования | 2,0 – 5,0 бар (в зависимости от оборудования) |
| Входная температура заготовки | 21 – 50оС |
| Температура заготовки на выходе (внутренние слои) | 50 – 70оС |
| Температура заготовки на выходе (внешние слои) | 40-60 оС |
Экспонирование
LAMINAR E8000 можно обработать обычным источником света, какие, как правило, применяются в производстве ПП. Разрешения вплоть до 30 мкм и ниже можно добиться в контролируемой и оптимизированной производственной среде.
| Тип резиста
Характеристики
|
LAMINAR E8013 | LAMINAR E8015 | LAMINAR E8020 |
| Энергия (мДж/см2) | 28-85 | 40-110 | 50-130 |
| ST21 Резист | 06-09 | 6-09 | 06-09 |
| St21 Медь | 07-10 | 07-10 | 07-10 |
| ST41 Резист ST |
16-27 | 16-27 | 16-27 |
| ST41 Медь | 17-28 | 17-28 | 17-28 |
Приведенные выше данные по энергии получены при помощи радиометра ORCUV-350.
Данные по светочувствительности и воспроизводимости соотношения проводник/зазор для LAMINAR E8000 , обработанного на установке экспонирования ORCEXM1201F:
Светочувствительность
Воспроизводимость соотношения проводник/зазор
Данные по адгезии и разрешению для LAMINARE8000, обработанного на установке экспонирования ORCEXM1201F:
Адгезия
Разрешение
Проявление
Сухой пленочный фоторезист LAMINAR E8000 проявляется в водном растворе карбоната натрия или карбоната калия. Смешиваемые с водой растворители разрушают фоторезист и не должны использоваться в процессе проявления.
| Характеристики | Оптимальное значение | Диапазон |
| Карбонат натрия | 0,85% | 0,70-1,00% |
| Карбонат калия | 1,00% | 0,8-1,20% |
| Температура | 28-30oC | 25-35оС |
| Брекпойнт | 55% | 50-65% |
| Давление | 1,5-1,70 бар | 1,5 – 2.00 бар |
| Жесткость промывной воды
|
Жесткая вода в эквиваленте СаСО3 150-300 мг/л | |
| Температура промывной воды | 20-25оС | 15-30оС |
| Сушка | Обдув горячим воздухом с полным высыханием | |
| Время проявления (1) | Е8013 38-50 секунд при 28оС | |
| Время проявления (2) | Е8015 45-60 секунд при 28оС | |
| Время проявления (3) | Е8020 69-97 секунд при 28оС | |
Брекпойнт следует поддерживать в пределах рекомендуемого диапазона длины камеры проявления. Чтобы определить брекпойнт, следует провести линии водорастворимым маркером на чистой медной заготовке непосредственно перед нанесением фоторезиста. Момент, когда раствор проявления проникает в пограничный слой между резистом и медью, удаляя проведенные линии с поверхности заготовки, считается брекпойнтом.
Перед началом производства следует обработать тестовые заготовки, симулирующие производственный процесс, чтобы настроить надлежащие рабочие параметры.
Пеногаситель
При работе с LAMINAR E8000 может потребоваться пеногаситель. Это зависит от различных факторов, таких как качество воды, качество химических компонентов проявителя, загрузки раствора проявления фоторезистом и конструкции оборудования.
Если требуется добавление пеногасителя, эти продукты являются совместимыми с LAMINAR E8000: AF80, AF33, AF2750 или аналоги. Можно рассмотреть и другие пеногасители, но их следует проверить перед использованием.
Пеногаситель следует дозировать в соответствии с техническим описанием. Пеногаситель следует непрерывно добавлять насосом в приямок проявителя.
Примечание: нельзя использовать пеногасители, содержащие водорастворимые растворители, потому что они будут воздействовать на фоторезист. Некоторые пеногасители, созданные на базе нефти, также агрессивно воздействуют на фоторезист, поэтому следует избегать их применения.
Травление
Laminar E8000 разработан как для кислого, так и для щелочного травления. Продукт выдерживает кислые травильные средства, такие как хлорид меди и хлорид железа со свободной нормальностью по НСl < 3.0 N и щелочные травильные растворы с величиной рН от 7,8 до 9,0.
Осаждение
Laminar E8000 отличается великолепной химической устойчивостью к гальванических ваннах, включая кислую медь, олово, олово-свинец, никель и золото. Рекомендуемые подготовительные операции:
| Технологический шаг | Значения | |
| Кислая очистка | 30 – 55оС | 2-3 мин. |
| Промывка распылением | 1-2 мин | |
| Промывка встречным потоком (опция) | 1-2 мин | |
| Микротравление | Снятие 0,38 мкм меди | По требованию |
| Промывка распылением | 1-2 мин | |
| Серная кислота | 5-10 % объемных | 1-2 мин |
| Промывка распылением (опция) | 1-2 мин | |
Раздубливание
Laminar E8000 можно раздубливать в обычных погружных ваннах или на конвейерных установках, используя каустическую соду и соответствующие химические составы. Увеличение концентрации химии и температуры уменьшает время раздубливания, но приводит к увеличению размера снятых частиц. Рекомендуется постоянно удалять снятый резист, чтобы избежать засорения форсунок и фильтров, это также поможет продлить срок жизни ванны.
В таблице ниже приведены параметры раздубливания заготовок в погружном режиме. Фактическое оптимальное время раздубливания зависит от оборудования, уровня экспонирования, времени выдержки перед раздубливанием и других факторов. Поэтому данные, приведенные в таблице, следует рассматривать как рекомендацию.
| Тип резиста
Характеристики
|
LAMINAR E8013 | LAMINAR E8015 | LAMINAR E8020 |
| Раствор | NaOH | NaOH | NaOH |
| Концентрация | 2-5% | 2-5% | 2-5% |
| Температура | 50оС | 50оС | 50оС |
| Время ST |
28-32 с | 46-49 с | 69-80 с |
Время раздубливания и размер частиц
Как и при проявлении, для раздубливания LaminarE8000 может потребоваться пеногаситель. Для этих целей рекомендуется AF80 или аналоги. Пеногаситель следует добавлять в соответствии с технологическим паспортом.
Хранение
Laminar E8000 следует хранить в помещении, допуск в которое ограничен, при температуре между 5 оС и 20оС и относительной влажности 50+/-10%. Для сохранения оптимальных характеристик температура на складе не должна превышать 15оС. Laminar E8000 чувствителен к солнечному свету и непрямому белому свету. В рабочей зоне свет должен быть золотым или желтым.